SMC手動閥，CDQ2A32-15DZ-XC8 Z大3.5 l/min（ANR）在1.0MPa壓力下 標準型也帶面板安裝。 導排氣口與主排氣口分開。 可在潔凈房使用（特注產品）。
CDQ2A50-10DMZ，SMC真空電磁閥 設定壓力范圍 氣消耗量 （溢流口） 0.05 ~ 0.83MPa; 0.02 ~ 0.2MPa 5 /min（ANR） （在Z高設定壓力時）
SMC2通直動式電磁閥，CDQ2A32-25DZ 若直接在接頭端，接頭套處涂粘著劑，粘著劑會流并 損壞密封部，因此請定要將接頭端、接頭套從本體上拆卸后進行粘合。 振動會傳接頭的場所，請采取防振對策。 管路中有壓力時請不要緊固接頭。 壓縮空氣含有化學藥品、含有有機溶劑的合成油、鹽分、腐蝕 性氣體等時，會成為破壞和動作不良的原因，請勿使用。
SMC5通氣控閥，VSA4140-06-X59 q確認規格請充分考慮用途·流體·環境及其它使用條件，在本樣本記載的規格范圍內使用。 w使用流體產品構成材料和使用流體的適合性由檢查表（參見P.732）確認后 再使用。檢查表以外的流體另行詢問。 另外，請在使用流體溫度范圍內使用。
SMC雙向控制閥設計圖，AS43301FG-0210 確認規格請充分考慮用途·流體·環境及其它使用條件，在本樣本記載的規格范圍內使用。 使用流體產品構成材料和使用流體的適合性由檢查表（參見P.732）確認后再使用。 檢查表以外的流體另行詢問。另外，請在使用流體溫度范圍內使用。 確保維護空間確保維護點檢需要的空間。
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