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穩(wěn)定的神視SUNX滲漏檢測傳感器檢測 為側(cè)面安裝式的約10mm薄型，因此在狹小空間內(nèi)也可使用。 滲漏檢測傳感器EX-F71/F72、EX-F61/F62用的簡易省配線單元（普通傳感器也能使用）。 多可將8個滲漏檢測傳感器的輸出組合成單個OR輸出，可以實現(xiàn)簡潔的配線。

日本SUNX晶圓定位傳感器結(jié)構(gòu)小巧、輕盈型 測量距離45mm 檢測物體3英寸以上的半導體晶圓（注2） 可對應檢測面有受光方向反射面的端面形狀的檢測面（注3） 檢測角度12.5±5°（注4） 晶圓間距間距3mm以上時，可按通常靈敏度進行分離檢測（注5）

日本神視SUNX小型光電傳感器更好的 使用環(huán)境照明度 熒光燈光：受光面照明度1,000 ?x以下 耐電壓 AC1,000V 1分鐘　所有電源連接端子與外殼之間 緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表 投光元件 紅外線LED（投光波峰波長：855nm、非調(diào)制式）